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    產品中心您現(xiàn)在的位置:首頁 > 產品展示 > 流量儀表 > 氣體質量流量控制器 > MCVAlicat帶截止閥質量流量控制器
    Alicat帶截止閥質量流量控制器
    簡要描述:

    Alicat帶截止閥質量流量控制器主要應用于需要有截止功能應用的場合,如真空鍍膜及磁控濺射工藝,這個閥是常閉閥,擁有極低的泄漏率。

    更新時間:2024-10-15

    訪問數(shù)量:2568

      免費咨詢:86-10-87241391

      發(fā)郵件給我們:info@hammertech.com.cn

    一、Alicat帶截止閥質量流量控制器產品特點

    1、50毫秒內完成穩(wěn)定的控制響應

    精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應速度,艾里卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值??焖佟⒖芍貜?、穩(wěn)定!

    擁有可靠的穩(wěn)定性及響應速度,艾里卡特?質量流量控制器總是一擊擊中,為快的質量流量控制器!采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合,使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼。

    2、操作便捷

    ?     50-100毫秒控制響應

    ?     允許用戶自行調節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性

    ?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

    ?     同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力

    ?     瞬間啟動、無需預熱:1秒內即可開始流量控制

    二、Alicat帶截止閥質量流量控制器產品系列

    MC 標準系列

    控制響應快、穩(wěn)定的流量控制器。

    MCR 大流量系列

    精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。

    MCW / MCRW 低壓損系列

    大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環(huán)境氣體分析等應用的選擇;大量程:0-500 slpm。點擊這里了解更多關于Whisper系列

    MCS / MCRS 耐腐蝕系列

    所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列

    MCE / MCV 半導體行業(yè)系列

    可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,專門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業(yè)系列

    MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

    *雙向質量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量??啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列

    三、常用選配項

    ?     后置閥門,優(yōu)化真空及背壓應用的控制

    ?     批量控制模式,依靠快速的閥門響應來分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

    ?     CSA認證12區(qū) / ATEX認證12區(qū)允許設備用于危險環(huán)境

    ?     9針或15D-Sub等連接接口可選

    ?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485PROFIBUS等可選

    ?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

    四、性能參數(shù)

    指標

    質量流量控制器

    量程

    0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

    精度

    ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

    重復性

    ±0.2%

    量程比

    200:1

    響應時間

    100ms

    標準狀態(tài)(STP)

    25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

    溫度范圍

    -10~50

    零點漂移

    0.02%

    量程漂移

    0.02%

    濕度范圍

    0-100%

    測量流量范圍

    128%(過流率)

    大耐壓

    145psi

    輸出信號(數(shù)字)

    質量流量、體積流量、壓力和溫度

    數(shù)字信號可選

    RS485,Modbus,Profibus

    輸出信號(模擬)

    質量流量、體積流量、壓力和溫度

    模擬信號可選

    0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

    電氣連接

    8針/9針/15針(根據不同類型流量計而定)

    供電電壓

    7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

    供電電流

    0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)

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