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    質(zhì)量流量控制器
    簡要描述:

    質(zhì)量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器,它們在各種工業(yè)應(yīng)用中都非常關(guān)鍵。MC標準系列設(shè)計旨在提供響應(yīng)式的氣體流量控制并抑制壓力波動。MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設(shè)計用于處理較大氣體流量的儀器,具備多項功能和特性以滿足工業(yè)上對氣體流量控制的需求。MCW/MCRW低壓損系列設(shè)計的低壓損性能使得在氣體流動過程中,壓力損失減小

    更新時間:2024-10-16

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      質(zhì)量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器,它們在各種工業(yè)應(yīng)用中都非常關(guān)鍵。
     

    質(zhì)量流量控制器

     

      以下是一些大家經(jīng)常選購的系列:
     
      1 、MC標準系列
     
      其設(shè)計旨在提供響應(yīng)式的氣體流量控制并抑制壓力波動。以下是一些特點:
     
      .高精度控制:能夠控制氣體的流量,確保流量保持在用戶設(shè)定值內(nèi)。這對于需要氣體流量控制的實驗或工業(yè)應(yīng)用很重要。
     
      .穩(wěn)定性能:該系列控制器性能穩(wěn)定,能夠有效抑制因壓力波動導致的影響。
     
      .無需溫度壓力補償:與某些流量計不同,測量值不會因溫度或壓力的波動而失準,因此不需要進行溫度壓力補償,這是由于它們可直接測量通過傳感器的質(zhì)量流量。
     
      .廣泛應(yīng)用:適用于多種氣體,并且在不同的工業(yè)和科研領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用,如半導體制造、化學氣相沉積、燃燒系統(tǒng)等。
     
      .可定制性:根據(jù)不同的應(yīng)用需求,可提供定制化的選項,以滿足特定的操作條件和性能要求。
     
      .用戶界面友好:配備直觀的用戶界面,使得設(shè)置和調(diào)整流量參數(shù)變得簡單快捷。
     
      .安全性:具備必要的安全特性,以確保在各種操作條件下的安全使用。
     

    MC標準系列

     

      2、MCR大流量系列
     
      MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設(shè)計用于處理較大氣體流量的儀器,具備多項功能和特性以滿足工業(yè)上對氣體流量控制的需求。以下是一些詳細介紹:
     
      . 適用多種標準工況:能夠在不同標準溫度和壓力下工作,提供三種工況供切換,允許用戶根據(jù)實際應(yīng)用需求選擇合適的工作環(huán)境。
     
      . 快速響應(yīng):整合了快速響應(yīng)的比例調(diào)節(jié)閥與優(yōu)化的PID控制,能夠?qū)崿F(xiàn)控制響應(yīng)時間,這對于需要迅速調(diào)整流量的工藝來說非常關(guān)鍵。
     
      . 適應(yīng)性高:無論是在高溫還是低溫環(huán)境下,MCR系列都能保持穩(wěn)定工作。
     
      . 濕度適應(yīng)范圍廣:這些控制器可在廣泛的工作濕度范圍內(nèi)運行而不會發(fā)生冷凝,讓在不同濕度條件下設(shè)備的正常運行。
     

    MCR大流量系列

     

      3、MCW/MCRW低壓損系列的特點如下:
     
      . 低壓損設(shè)計:這些控制器設(shè)計的低壓損性能使得在氣體流動過程中,壓力損失減小,這對于保持系統(tǒng)的整體效率和成本效益較為重要。
     
      . 層流差壓式原理:產(chǎn)品采用層流差壓式原理,這是一種通過測量流體流過傳感器時產(chǎn)生的壓力差來確定流量的方法,能夠?qū)崿F(xiàn)流量控制和測量。
     
      . 多樣化應(yīng)用:適用于多種行業(yè),包括實驗科研、環(huán)境保護、生物醫(yī)藥、過程控制、能源化工、半導體等,顯示出它們的多功能性和適應(yīng)性。
     
      . 兼容性:設(shè)計兼容多種類型的氣體和應(yīng)用,確保了在不同的操作條件下均能保持良好的工作性能。
     

    MCW/MCRW低壓損系列

     

      4、MCS/MCRS耐腐蝕系列
     
      MCS/MCRS系列耐腐蝕系列是專為處理腐蝕性氣體而設(shè)計的高精度設(shè)備。以下是詳細介紹:
     
      . 響應(yīng)速度: MCS/MCRS系列在通電后毫秒內(nèi)即可響應(yīng),可以快速達到并保持設(shè)定值,滿足對快速控制有要求的應(yīng)用場合。
     
      . 多變量數(shù)據(jù): 用戶能夠以選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力,并且設(shè)備能顯示瞬時流量、壓力和溫度讀數(shù),方便監(jiān)控和調(diào)整過程參數(shù)。
     
      . 易于集成: 設(shè)計考慮了與其他系統(tǒng)的集成需求,使得這些控制器能夠輕松地適配到現(xiàn)有的工業(yè)或科研系統(tǒng)中。
     
      . 穩(wěn)定性: 除了快速響應(yīng)外,MCS/MCRS系列還能夠穩(wěn)定地控制目標氣體的流量。
     
      . 材料: 設(shè)備的接液部分使用耐腐蝕材料制成,能夠抵抗氣體腐蝕,延長使用壽命。
     

    MCS/MCRS耐腐蝕系列

     

      5、MCE/MCV半導體行業(yè)系列
     
      MCE/MCV半導體行業(yè)系特別適用于半導體行業(yè)的真空應(yīng)用。
     
      MCE系列主要針對低真空應(yīng)用;
     

    MCE系列

     

      MCV系列則適用于高真空應(yīng)用;
     

    MCV系列

     

      以下是詳細介紹:
     
      . 多變量測量與控制:這些控制器能夠同時測量和控制多個變量,如質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,提供過程監(jiān)控。
     
      . 多種氣體標定:MCE/MCV系列支持多種氣體的標定,這意味著它們可以在不同的氣體環(huán)境下保持流量控制。
     
      . 量程可調(diào)比:這些控制器具備量程可調(diào)比,使得一臺設(shè)備就能覆蓋廣泛的應(yīng)用范圍,從而減少了對多臺設(shè)備的依賴。
     
      . 快速響應(yīng):MCE/MCV系列在控制響應(yīng)速度上與其標準質(zhì)量流量控制器一樣快,這對于需要迅速調(diào)整流量的半導體工藝很重要。
     
      . 緊密聯(lián)系:MCV和MCE系列在設(shè)計上緊密相關(guān),采用的技術(shù)和應(yīng)用特性相輔相成,為不同真空條件下的應(yīng)用提供了解決方案。

    質(zhì)量流量控制器

     


     
      性能參數(shù):

    指標

    MFC

    量程

    0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

    精度

    ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

    重復性

    ±0.2%

    量程比

    200:1

    響應(yīng)時間

    100ms

    標準狀態(tài)(STP)

    25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

    溫度范圍

    -10~50

    零點漂移

    0.02%

    量程漂移

    0.02%

    濕度范圍

    0-100%

    測量流量范圍

    128%(過流率)

    大耐壓

    145psi

    輸出信號(數(shù)字)

    質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

    數(shù)字信號可選

    RS485,Modbus,Profibus

    輸出信號(模擬)

    質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

    模擬信號可選

    0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

    電氣連接

    8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計而定)

    供電電壓

    7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

    供電電流

    0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)

     

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